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61.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
62.
运用光学传输矩阵理论,研究了异质结构光子晶体的能带特性。结果表明,与周期结构相比异质结构光子晶体可以显著地拓宽光子晶体的光子带隙;在该文提出的结构中引入缺陷,与(1H1L)m(1H)n(1L1H)m光子晶体相比,产生缺陷模式光子带隙范围明显拓宽,适当调整缺陷层的数目、位置和厚度可得到多通道滤波;并研究了实际操作中随机误差带来的影响,随无序度的增大,其带宽基本不变。  相似文献   
63.
开设实验选修课培养学生创新能力   总被引:19,自引:5,他引:14  
介绍了复旦大学物理教学实验中心为培养学生创新能力开设的4门实验选修课的特点、要求以及在培养学生创新能力方面取得的成效。  相似文献   
64.
应用含时密度泛函理论研究了SiN团簇低能激发态的性质.将计算结果与前人已有的计算结果进行了比较,此外还根据计算得到的低能激发能对SiN-阴离子的光电子能谱进行了理论指认.研究表明,SiN-阴离子的基态为1Σ态,而光电子能谱上的X峰和A峰分别对应于1Σ→2Σ和1Σ→2Π的跃迁.研究结果还表明,用含时密度泛函的方法来处理激发态的问题是成功的. 关键词: 团簇 光电子能谱 基态 激发态  相似文献   
65.
基于远场的拼接光栅压缩池的设计   总被引:3,自引:2,他引:1       下载免费PDF全文
 利用傅里叶光学方法得到了失调拼接光栅压缩池输出光束的远场振幅表达式,建立了分析拼接光栅的各种误差的理论模型,得到了拼接误差对脉冲的影响是附加相位延迟和角度偏转。在要求远场的一倍衍射极限区域的积分能量分布达到理想情况下的90%的条件下,对于含有口径为40 cm、脉宽为0.1~10 ps脉冲的系统进行分析并分别得到了各种误差的容限。  相似文献   
66.
The breakthrough and stoichiometric SO2 adsorption efficiencies of a biomass supported Na2CO3 system (80 wt %Na2CO3/straw) have reached 48.9% and 80.6% respectively at a desulfurization temperature of 80℃.  相似文献   
67.
68.
设R是环,M是R-拟连续左R-模.如果R关于形如l(m),m∈M的左理想满足升链条件,则M可写成一致子模的直和.  相似文献   
69.
袁斌贤 《数学研究》2002,35(3):241-248
令Ω1与Ω2与C^n中的两个有界齐性域,假设φ:1Ω→Ω2是一个全纯映射。在本中,我们研究相应的复合算子Cφ:β(Ω2)→β(Ω1)的有界性和紧性,特别地,我们讨论取B^n和U^n的情形。  相似文献   
70.
贯丛  曲艺 《大学物理》2006,25(3):41-43
甲基紫掺杂聚乙烯醇薄膜材料在两束相干光照射下生成相位光栅.当改变一束相干光光程,通过监测相位光栅的一级衍射信号强度的变化,可以检测相位光栅的生长和擦除过程.在此实验基础上,讨论了甲基紫掺杂聚乙烯醇薄膜材料多重全息存储的原理与结果.  相似文献   
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